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離子濺射儀噴金儀
詳細信息 儀器多機尺寸:長610mmX竟420mmX言220mm(注:含腔體總高490mm) 工作腔室尺寸::金篇腔體:直徑260mmX高270mm(外尺寸) 直徑210mmX高270mm(內尺寸) 靶材尺寸:室徑50mmX罩3mm(圖契材材質不司星度有所不司) 靶材料:標配一雜直徑50mmX03mm的金起(可渡射弱磁性金屬膜) 靶槍冷卻方式:水冷 真空系統:抗沖擊渦輪分子泵,抽速為300L/s 前級機械泵:抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器 真空測量:采用復合真空計些測真空 極限真空度:5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa) 電源:官流恒流電源: 翰入克壓:220W 輸出電壓:0-600r可話 輸出電流(沉積電流):0-1.6A可調 教樣臺:旋裝臺(直徑尺寸用戶可選,最大不能超過中150mm) 工作氣體:Ar箋管性氣體(警自備氣瓶及減壓閥) 氣路:誰射喜空度手動道整 沉積速寶:0-200nm 水冷:自循環冷卻水機 電源電壓:220V50Hz 啟動功室:3KW 保修:貳年 儀器多機尺寸:長610mmX竟420mmX言220mm(注:含腔體總高490mm) 工作腔室尺寸::金篇腔體:直徑260mmX高270mm(外尺寸) 直徑210mmX高270mm(內尺寸) 靶材尺寸:室徑50mmX罩3mm(圖契材材質不司星度有所不司) 靶材料:標配一雜直徑50mmX03mm的金起(可渡射弱磁性金屬膜) 靶槍冷卻方式:水冷 真空系統:抗沖擊渦輪分子泵,抽速為300L/s 前級機械泵:抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器 真空測量:采用復合真空計些測真空 極限真空度:5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa) 電源:官流恒流電源: 翰入克壓:220W 輸出電壓:0-600r可話 輸出電流(沉積電流):0-1.6A可調 教樣臺:旋裝臺(直徑尺寸用戶可選,最大不能超過中150mm) 工作氣體:Ar箋管性氣體(警自備氣瓶及減壓閥) 氣路:誰射喜空度手動道整 沉積速寶:0-200nm 水冷:自循環冷卻水機 電源電壓:220V50Hz 啟動功室:3KW 保修:貳年 共0條 相關評論 |