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MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試技術參數：
柱狀部分：
直徑：5.2 mm
總長：19.1 mm
材料：致密塑料
芯片部分：
直徑：2.96 mm
總長：0.66 mm
材料：硅
芯片上圖樣尺寸范圍：1μm至10μm
圖樣深度：5μm至15μm
對比材料：硅/空氣
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試卡芯片上有一個傾斜的邊緣(字母“L”字樣)以及一個西門子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結構均以這樣的方式排布于芯片上，從而使用戶僅通過一次曝光和測量就可以對整個芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評估。
作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進一步發展，我們現在推出BarPattern-NANO！
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試卡 | |
| 基礎材料： | 固體塑料（切屑放在空氣中的支撐件上-壁厚> 0.3 mm） |
| 模體直徑： | 5.2毫米 |
| 高度： | 19毫米 |
| 硅芯片的措施： | 3 x 3 x 0.66毫米 |
| 芯片上的結構（分辨率）： | 分別為1至10 μm。500至50 LP / mm |
| 芯片材質： | 硅 |
| 圖案對比 | 硅/空氣 |
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