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外形尺寸 | 424*265*260MM |
輸入電壓 | 220V/50Hz |
濺射電壓 | 600V |
工作原理 | 磁控濺射 |
最大功率 | 4507 |
靶材尺寸 | 057*0.12MM (AU) |
可選靶材 | 金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬靶材 |
真空室 | 0128*130MM高強度玻璃 |
極限真空 | 1PA(電阻式真空規) |
抽氣節拍 | ≤90S |
樣品杯 | 00樣品杯1個/025樣品杯4個/15樣品杯6個 |
樣品室進氣 | 自動：高精度微量進氣閥 |
進氣接頭 | O4快擰接頭（外徑4M,內徑2.5MM氣管) |
江作電流 | 5-45MA任意可調 |
顆粒大小 | 6-10NM |
保護功能 | 過流保護、真空保護 |
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